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真空压力计,适用于在光伏、半导体及工业市场中对过程控制至关重要的精密真空测量。应用于:真空炉、真空包装、等离子体灭菌器、冷冻干燥、真空蒸馏、石化行业、半导体行业、PECVD/ALD工艺设备、等离子体刻蚀工艺设备
真空电容压力计使用高稳定电容敏感元件,具备出色的抗过压能力和优异的长期稳定性,适用于在光伏、半导体及工业市场中对过程控制至关重要的精密真空测量。先进制造技术与工艺,保障了应用场景中的可重复性,本压力计工作电压为24V DC,具有标准的(0~10)V DC模拟输出信号,全刻度测量,可用范围为1Torr(133Pa)至10Torr(1.33kPa)。
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